Формирование тонкопленочных покрытий на установке PLATIT π80

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Третий (бакалавриат)

Моисеев Константин Михайлович (Кандидат наук, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

Статья кратко описывает установку PLATIT π80 и реализуемый на ней метод дугового испарения. Приведен обзор покрытий TiN и nACo®, получаемых на данной установке. Проведены эксперименты по нанесению этих покрытий, измерены значения твердости и толщины пленок для каждого образца и сделаны выводы о влиянии толщины на твердость.

Дубинин С. А., Баклыков Д. А. Формирование тонкопленочных покрытий на установке PLATIT π80. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 4 – 7 апреля, 2017, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2017.– № гос. регистрации 0321701287.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=1896 (дата обращения: 08.07.2025).– Загл. с экрана.