Снижение вероятности пробоя тонких диэлектрических покрытий на металлических поверхностях

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Первый (магистратура)

Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

Рассмотрено влияние шероховатости металлических поверхностей на вероятность диэлектрического пробоя. Представлены и проанализированы экспериментальные данные по влиянию параметров ионного травления на шероховатость поверхности. Определен режим ионной обработки для снижения шероховатости металлических подложек.

Егорова С. И., Купцов А. Д. Снижение вероятности пробоя тонких диэлектрических покрытий на металлических поверхностях. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 4 – 8 апреля, 2022, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2022.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3356 (дата обращения: 11.05.2025)