Определение режимов травления коллоидных матриц полистирола при получении фотоно-кристаллических структур

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Као Ван Хоа

Четвёртый (бакалавриат)

Панфилова Екатерина Вадимовна (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В работе представлен анализ операции травления коллоидного темплата в технологии инверсных фотонных кристаллов. Рассмотрены методы и режимы травления микросфер полистирола. Изучены условия, пригодные для реализации процесса в лабораторных условиях.

Као В. Х. Определение режимов травления коллоидных матриц полистирола при получении фотоно-кристаллических структур. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 4 – 8 апреля, 2022, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2022.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3371 (дата обращения: 24.09.2023)