Доклады и статьи конференции

← Назад | Перейти в архив

Карточка работы #3382

Название
Структура композиций PZT-LNO-SI для изделий микроэлектроники
Год
2022
Организация
Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)
Секция
8 - Материаловедение в машиностроении
Авторы
Туркина Дарья Ивановна
Атанова Александра Владимировна
Курс обучения
Четвёртый (бакалавриат)
Научный руководитель
Жигалина Ольга Михайловна (Доктор наук, Профессор, ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН; МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Материаловедение")
Аннотация
Методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии (РЭМ и ПЭМ) исследована структура слоев композиций PZT-LNO (PbZnTi3 и LaNiO3), которые используются в микроэлектронике. Образцы получены методом химического осаждения из растворов путём послойного нанесения LNO и PZT на Si-подложку с последующим кристаллизационным отжигом. Рассмотрены механизмы кристаллизации пленок и обнаружено, что структура пленки существенно зависит от времени кристаллизации: более длительная кристаллизация пленки изменяет морфологию зерен LNO от равноосной до столбчатой, что улучшает свойства исследуемой системы.
Тезисы
Библиографическая
ссылка
Туркина Д. И., Атанова А. В. Структура композиций PZT-LNO-SI для изделий микроэлектроники. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 4 – 8 апреля, 2022, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2022.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3382 (дата обращения: 12.08.2022)
Если Вы обнаружили ошибку - пожалуйста, напишите нам
Сопредседатель оргкомитета конференции
Гладков Ю.А.