Разработка системы контроля процесса формирования опаловых наноструктур

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

4 - Метрология и взаимозаменяемость

Зубихина Александра Алексеевна

Четвёртый (бакалавриат)

Сырицкий Антони Борисович (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Метрология и взаимозаменяемость")

В работе рассматривается процесс формирования опаловых наноструктур. Выявляются параметры, влияющие на получение минимальной разноразмерности глобул кремнезема. Выбираются датчики, разрабатывается электрическая схема системы контроля. Снимаются показания датчиков и анализируются при исследовании образца покрытия на АСМ.

Зубихина А. А. Разработка системы контроля процесса формирования опаловых наноструктур. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 4 – 8 апреля, 2022, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2022.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3511 (дата обращения: 24.09.2023)