Оценка эффективности плазменной очистки для установок MPC One и TRION

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Ежова Полина Андреевна

Первый (магистратура)

Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Оборудование и технологии прокатки")

В статье представлены результаты плазменной очистки образцов из стекла, меди, кремния и ситалла на установках MPC One и TRION. Получены и обработаны результаты измерения контактного угла смачивания при варьировании времени очистки (от 10 до 30 секунд), мощности плазмы (40 и 50 Ватт) и концентрации кислорода в смеси аргона и кислорода (10 и 20%). В результате анализа влияния технологических параметров на угол смачивания для разных установок плазменной обработки сделан вывод об эффективности плазменной обработки образцов на установке TRION, так как удалось уменьшить время процесса до 10 секунд.

Ежова П. А. Оценка эффективности плазменной очистки для установок MPC One и TRION. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 4 – 8 апреля, 2022, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2022.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3517 (дата обращения: 07.12.2023)