Доклады и статьи конференции

← Назад | Перейти в архив

Карточка работы #3517

Название
Оценка эффективности плазменной очистки для установок MPC One и TRION
Год
2022
Организация
Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)
Секция
11 - Электронные технологии в машиностроении
Автор
Ежова Полина Андреевна
Курс обучения
Первый (магистратура)
Научный руководитель
Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Оборудование и технологии прокатки")
Аннотация
В статье представлены результаты плазменной очистки образцов из стекла, меди, кремния и ситалла на установках MPC One и TRION. Получены и обработаны результаты измерения контактного угла смачивания при варьировании времени очистки (от 10 до 30 секунд), мощности плазмы (40 и 50 Ватт) и концентрации кислорода в смеси аргона и кислорода (10 и 20%). В результате анализа влияния технологических параметров на угол смачивания для разных установок плазменной обработки сделан вывод об эффективности плазменной обработки образцов на установке TRION, так как удалось уменьшить время процесса до 10 секунд.
Тезисы
Библиографическая
ссылка
Ежова П. А. Оценка эффективности плазменной очистки для установок MPC One и TRION. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 4 – 8 апреля, 2022, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2022.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3517 (дата обращения: 08.10.2022)
Если Вы обнаружили ошибку - пожалуйста, напишите нам
Сопредседатель оргкомитета конференции
Гладков Ю.А.