Особенности фокусировки электронного пучка для микроразмерной обработки материалов электронной техники

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Махкамбоев Карим Абдурасулович

Четвёртый (бакалавриат)

Моисеев Константин Михайлович (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

Статья посвящена особенностям фокусировки электронного пучка для микроразмерной электронно-лучевой обработки. Описаны основные способы фокусировки электронного пучка. Выявлены основные влияющие факторы на степень фокусировки электронного пучка.

Махкамбоев К. А. Особенности фокусировки электронного пучка для микроразмерной обработки материалов электронной техники. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 4 – 8 апреля, 2022, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2022.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3561 (дата обращения: 24.09.2023)