Анализ методов измерения поверхностного заряда диэлектрических плёнок в вакууме

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Бриллиантов Вячеслав Денисович

Третий (бакалавриат)

Моисеев Константин Михайлович (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

Проведен анализ методов измерения поверхностного заряда сегнетоэлектрических пленок на основе ПДВФ в вакууме. Приведены достоинста и недостатки каждого метода. Выбран наиболее эффективный и простой метод измерения поверхностного заряда для применения в лабораторном стенде плазменной поляризации.

Бриллиантов В. Д. Анализ методов измерения поверхностного заряда диэлектрических плёнок в вакууме. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 3 – 7 апреля, 2023, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2023.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3743 (дата обращения: 24.09.2023)