Исследование процесса многоступенчатой очистки подложек из полиэтилентерефтала

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Первый (магистратура)

Екатерина Вадимовна Панфилова (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э.Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В данной работе рассмотрены вопросы обеспечения необходимых свойств поверхности подложек из полиэтилентерефтала для последующего нанесения на них фотонно-кристаллической коллоидной плёнки. Представлены результаты исследования различных вариантов обработки образцов посредством очистки в ультразвуковой ванне и воздействии на них плазмы смеси газов. Предложен вариант многоступенчатой очистки.

Минько К. Р., Панфилова Е. В., Слитиков П. В. Исследование процесса многоступенчатой очистки подложек из полиэтилентерефтала. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 3 – 7 апреля, 2023, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2023.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3745 (дата обращения: 13.05.2025)