Доклады и статьи конференции
← Назад | Перейти в архивКарточка работы #3773
Название
Исследование особенностей формирования островковых тонких пленок Ni для внедрения в устройства наноэлектроники
Организация
Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)
Секция
11 - Электронные технологии в машиностроении
Автор
Кирьянов Сергей Владимирович
Курс обучения
Четвёртый (бакалавриат)
Научный руководитель
Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Баумана, кафедра «Электронные технологии в машиностроении»)
Аннотация
Содержит результаты исследований нанесения островковых тонких пленок никеля методом термического испарения, получены графические зависимости туннельного тока от времени формирования покрытия и параметры структур ОТП никеля. Также представлены рекомендуемые режимы нанесения островковой тонкой пленки никеля методом термического испарения.
Библиографическая
ссылка
ссылка
Если Вы обнаружили ошибку - пожалуйста, напишите нам
Сопредседатель оргкомитета конференции
Гладков Ю.А.