Доклады и статьи конференции

← Назад | Перейти в архив

Карточка работы #3773

Название
Исследование особенностей формирования островковых тонких пленок Ni для внедрения в устройства наноэлектроники
Год
2023
Организация
Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)
Секция
11 - Электронные технологии в машиностроении
Автор
Кирьянов Сергей Владимирович
Курс обучения
Четвёртый (бакалавриат)
Научный руководитель
Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Баумана, кафедра «Электронные технологии в машиностроении»)
Аннотация
Содержит результаты исследований нанесения островковых тонких пленок никеля методом термического испарения, получены графические зависимости туннельного тока от времени формирования покрытия и параметры структур ОТП никеля. Также представлены рекомендуемые режимы нанесения островковой тонкой пленки никеля методом термического испарения.
Библиографическая
ссылка
Кирьянов С. В. Исследование особенностей формирования островковых тонких пленок Ni для внедрения в устройства наноэлектроники. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 3 – 7 апреля, 2023, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2023.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3773 (дата обращения: 21.05.2024)
Если Вы обнаружили ошибку - пожалуйста, напишите нам
Сопредседатель оргкомитета конференции
Гладков Ю.А.