Исследование особенностей формирования островковых тонких пленок Ni для внедрения в устройства наноэлектроники

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Кирьянов Сергей Владимирович

Четвёртый (бакалавриат)

Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Баумана, кафедра «Электронные технологии в машиностроении»)

Содержит результаты исследований нанесения островковых тонких пленок никеля методом термического испарения, получены графические зависимости туннельного тока от времени формирования покрытия и параметры структур ОТП никеля. Также представлены рекомендуемые режимы нанесения островковой тонкой пленки никеля методом термического испарения.

Кирьянов С. В. Исследование особенностей формирования островковых тонких пленок Ni для внедрения в устройства наноэлектроники. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 3 – 7 апреля, 2023, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2023.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3773 (дата обращения: 27.07.2024)