Доклады и статьи конференции

← Назад | Перейти в архив

Карточка работы #3775

Название
Ионно-плазменные методы в технологии производства планарных частотных фильтров
Год
2023
Организация
Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)
Секция
11 - Электронные технологии в машиностроении
Авторы
Илья Евгеньевич Пименов
Алексей Дмитриевич Купцов
Андрей Михайлович Руденко
Курс обучения
Второй (магистратура)
Научный руководитель
Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, МГТУ им Н.Э Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")
Аннотация
Применение ионно-плазменный технологий для производства частотных фильтров. Изготовление микрополосковых частотных фильтров методами ионного травления, магнетронного распыления и фотолитографии.
Тезисы
Скачать pdf-файл (191 кБ)
Библиографическая
ссылка
Если Вы обнаружили ошибку - пожалуйста, напишите нам
Сопредседатель оргкомитета конференции
Гладков Ю.А.