Доклады и статьи конференции

← Назад | Перейти в архив

Карточка работы #3780

Название
Исследование энергетической характеристики плазмы источника ионов для уменьшения остаточных напряжений в тонких пленках
Год
2023
Организация
Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)
Секция
11 - Электронные технологии в машиностроении
Авторы
Купцов Алексей Дмитриевич
Егорова Светлана Игоревна
Фельде Анастасия Александровна
Пименов Илья Евгеньевич
Курс обучения
Аспирант (1 год) (аспирантура)
Научный руководитель
Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, МГТУ им Н.Э Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")
Аннотация
Описаны причины появления остаточных напряжений в тонкопленочных многослойных покрытиях. Приведены недостатки наличия остаточных напряжений. Предложены решения для уменьшения остаточных напряжений. Обоснована актуальность применения источника ионов. Получены количественные значения потенциала пространства электронной и ионной частей, определены концентрации и температуры ионов и электронов.
Тезисы
Библиографическая
ссылка
Купцов А. Д., Егорова С. И., Фельде А. А., Пименов И. Е. Исследование энергетической характеристики плазмы источника ионов для уменьшения остаточных напряжений в тонких пленках. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 3 – 7 апреля, 2023, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2023.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3780 (дата обращения: 21.05.2024)
Если Вы обнаружили ошибку - пожалуйста, напишите нам
Сопредседатель оргкомитета конференции
Гладков Ю.А.