Эластичный датчик температуры с тонкопленочными электродами

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э. Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Четвёртый (бакалавриат)

Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им Н.Э Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

Приведена актуальность эластичного (гибкого) датчика температуры на основе пироэлектрического эффекта. Показана структурная схема чувствительного элемента датчика и рассмотрен принцип его действия. Обоснована целесообразность предварительной ионной обработки образца перед нанесением на него тонкопленочных электродов. Показаны АСМ-изображения поверхности эластомера до и после ионной обработки. Получен график экспериментальной зависимости емкости от температуры.