Настольный стенд нанесения фоторезиста центрифугированием

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Дьячков Георгий Антонович

Первый (магистратура)

Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им Н.Э Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В тезисах рассмотрен процесс разработки и изготовления центрифуги для нанесения фоторезиста. Проведена апробация ее работы. Сделаны выводы о возможности ее применения в лаборатории.

Дьячков Г. А. Настольный стенд нанесения фоторезиста центрифугированием. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 3 – 7 апреля, 2023, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2023.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3829 (дата обращения: 13.05.2025)