Исследование эффекта гистерезиса в процессе реактивного магнетронного нанесения нитрида алюминия

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Фёдоров Егор Николаевич

Четвёртый (бакалавриат)

Каракулов Руслан Александрович (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э.Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

Цель работы: определение влияния мощности разряда на характер петли гистерезиса в процессах реактивного магнетронного нанесения нитрида алюминия(AlN). В результате работы получены петли гистерезиса для процессов реактивного магнетронного распыления AlN при постоянных мощностях разряда 100 Вт, 150 Вт и 200 Вт. Даны рекомендации по возможным режимам нанесения для получения стехиометрического покрытия.

Фёдоров Е. Н. Исследование эффекта гистерезиса в процессе реактивного магнетронного нанесения нитрида алюминия. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 22 – 26 апреля, 2024, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2024.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3973 (дата обращения: 03.07.2024)