Газовый сенсор с островковыми наноструктурами

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Третий (бакалавриат)

Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э.Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В данной статье представлена актуальность применения газовых сенсоров. Описан принцип работы MOS-сенсоров. Проиллюстрирована принципиальная схема поперечного сечения газового MOS-сенсора с нагревателем. Указаны преимущества внедрения островковых тонких пленок в газовые сенсоры. Рассмотрено оборудование для нанесения чувствительного островкового слоя на подложку газового сенсора. Определен метод формирования островкового слоя. Отработаны режимы формирования островкового слоя. Приведен план дальнейших исследований.

Наумова А. М., Кирьянов С. В. Газовый сенсор с островковыми наноструктурами. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 22 – 26 апреля, 2024, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2024.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3984 (дата обращения: 03.07.2024)