Исследование газовыделения распыляемых мишеней MoS2

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Аспирант (1 год) (аспирантура)

Беликов Андрей Иванович (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э.Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В данной работе подготовлен вакуумный экспериментальный стенд и отработана методика для количественной оценки характеристик газовыделения из распыляемых мишеней. Полученные результаты могут послужить основой для дальнейших углубленных исследований газовыделения распыляемых мишеней MoS2 и внедрения улучшений в процесс получения пленок.

Ван С. ., Хлобыстин Н. А., Илларионов А. И. Исследование газовыделения распыляемых мишеней MoS2. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 22 – 26 апреля, 2024, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2024.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3989 (дата обращения: 03.07.2024)