Исследование скорости нагрева подложкодержателя

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Лысов Леонид Евгеньевич

Третий (бакалавриат)

Хыдырова Селби Юсуповна (МГТУ им. Н.Э.Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В работе экспериментально исследована скорость нагрева подложкодержателя со стандартным керамическим инфракрасным нагревателем в низком вакууме при напряжении питания до 120 В. В результате определена максимальная температура, которая обеспечивается данной конструкцией подложкодержателя с нагревом, и возможность применения подложкодержателя для формирования плёнок с кристаллической структурой при магнетронном распылении.

Лысов Л. Е. Исследование скорости нагрева подложкодержателя. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 22 – 26 апреля, 2024, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2024.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=4075 (дата обращения: 21.11.2024)