Разработка цилиндрического магнетрона

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Третий (бакалавриат)

Беликов Андрей Иванович (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э.Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В работе рассмотрена актуальность применения магнетронных распылительных систем с цилиндрической мишенью. Предложено два варианта компоновки цилиндрического магнетрона под различные типы задачи. Проведено моделирование влияния расположения магнитной системы на магнитные характеристики в приповерхностной области мишени. Получена картина распределения и значения величины магнитной индукции.

Пенькова П. С., Кипов Г. В., Синявин Н. М. Разработка цилиндрического магнетрона. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 22 – 26 апреля, 2024, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2024.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=4156 (дата обращения: 03.07.2024)