Разработка откачного поста для исследования газовых потоков из объема ЭВП

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Попов Павел Евгеньевич

Четвёртый (бакалавриат)

Михайлов Валерий Павлович (Доктор наук, Профессор, МГТУ им. Н.Э.Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В работе будет рассмотрен откачной пост для термовакуумной обработки ЭВП с возможностью исследования газовыделения из объема ЭВП.

Попов П. Е. Разработка откачного поста для исследования газовых потоков из объема ЭВП. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 22 – 26 апреля, 2024, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2024.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=4163 (дата обращения: 03.07.2024)