Исследование пневмогидропривода для установки ионной имплантации

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Пьае Сон Хейн

Второй (магистратура)

Михайлов Валерий Павлович (Доктор наук, Профессор, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

Исследован привод с электрореологическими жидкостями (ЭРЖ) для управления в установках ионной имплантации. Протестированы дроссели (ЭРД): кольцевой и плоский зазор. Усовершенствованная модель с плоским зазором повысила надежность. Оптимальная ЭРЖ (25% крахмала) снижала скорость штока на 60% при 0,4 атм и 2000 В. Выявлены проблемы: воздух в системе, погрешности датчиков, осадок. Предложены меры: герметичность, калибровка, очистка. Результаты подтвердили применение ЭРЖ в микроэлектронике. Перспективы: автоматизация зазора ЭРД, новые составы.

Пьае С. Х. Исследование пневмогидропривода для установки ионной имплантации. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 14 – 18 апреля, 2025, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2025.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=4262 (дата обращения: 02.04.2025)