Исследование влияния ионной обработки на гидрофильность подложек для изделий наноинженерии

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Третий (бакалавриат)

Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В работе показана актуальность обеспечения гидрофильности поверхности материалов для применения в микроэлектронике. Исследование посвящено изучению влияния ионной обработки аргоном на смачиваемость поверхностей кремния и ситалла. Оценены углы смачивания поверхностей до и после ионной обработки при разных режимах. Показана зависимость гидрофильности поверхностей кремния и ситалла от режимов ионной обработки и материала подложки. Полученные данные могут быть использованы при создании функциональных покрытий на подложках кремния и ситалла.

Привалов Д. С., Фельде А. А. Исследование влияния ионной обработки на гидрофильность подложек для изделий наноинженерии. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 14 – 18 апреля, 2025, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2025.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=4297 (дата обращения: 02.04.2025)