Исследование влияния плазменной и ионной обработок на свойства поверхности LTCC подложки

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Хохлун Святослав Андреевич

Первый (магистратура)

Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н. Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В работе обоснована актуальность повышения эксплуатационных свойств LTCC-подложек в микро- и наноэлектронике. В качестве способов повышения гидрофильности и адгезионных свойств керамических подложек рассмотрены методы плазменной и ионной обработок. Проведены исследования влияния ионно-плазменных процессов на гидрофильность поверхности LTCC-подложек. Получены зависимости угла смачивания до и после плазменной и ионной обработок от технологических режимов.

Хохлун С. А. Исследование влияния плазменной и ионной обработок на свойства поверхности LTCC подложки. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 14 – 18 апреля, 2025, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2025.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=4361 (дата обращения: 02.04.2025)