Ионные процессы в технологии создания изделий наноэлектроники

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Третий (бакалавриат)

Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н. Э. Баумана, кафедра «Электронные технологии в машиностроении»)

В работе рассмотрены конструкции источников ионов. Показана важность и необходимость ионной обработки поверхности подложек и тонких пленок для изделий наноэлектроники. Описано технологическое оборудование для формирования тонких пленок. Представлены результаты экспериментальных исследований по оценке работы источника ионов.

Ефименко В. А., Купцов А. Д. Ионные процессы в технологии создания изделий наноэлектроники. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 14 – 18 апреля, 2025, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2025.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=4391 (дата обращения: 02.04.2025)