Применение зондовой атомно-силовой литографии для формирования топологии наноструктур

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Кошелева Маргарита Александровна

Четвёртый (бакалавриат)

Ибрагимов Артем Рустамович (МГТУ им. Н. Э. Баумана, кафедра «Электронные технологии в машиностроении»)

В работе представлен обзор разновидностей, способов реализации и областей применения зондовой силовой литографии. Приведены результаты эксперимента по формированию заданной топологии в колоидной фотонно-кристаллической пленке методом силовой зондовой литографии с помощью атомно-силового микроскопа

Кошелева М. А. Применение зондовой атомно-силовой литографии для формирования топологии наноструктур. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 14 – 18 апреля, 2025, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2025.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=4422 (дата обращения: 02.04.2025)