Исследование неравномерности поверхностного сопротивления плёнки ниобия (Nb)

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Гусейнов Бегляр Рауфович

Третий (бакалавриат)

Хыдырова Сельби Юсуповна (МГТУ им. Н.Э.Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В работе исследована экспериментально неравномерность поверхностного сопротивления сформированной магнетронным распылением плёнки Nb на подложке диаметром 4'' при различной скорости вращения подложкодержателя 15 об/мин. Определены требования к скорости вращения подложкодержателя для обеспечения неравномерности поверхностного сопротивления по подложке менее 5%.

Гусейнов Б. Р. Исследование неравномерности поверхностного сопротивления плёнки ниобия (Nb). [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 22 – 26 апреля, 2024, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2024.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=4076 (дата обращения: 03.07.2024)