Исследование влияния режимов магнетронного распыления на геометрические характеристики островковых плёнок

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Третий (бакалавриат)

Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В работе показана актуальность применения островковых плёнок в устройствах и изделиях электроники, оптики, фотоники. Описан метод формирования островкового слоя с помощью магнетронного распыления. Рассмотрены возможности и ограничения метода мощного импульсного магнетронного распыления (HiPIMS). С помощью специализированного программного обеспечения оценены результаты размеров островков, расстояния между ними и плотность заполнения островками площади подложки, равномерность их распределения.

Артемьев И. В., Щербак Е. С. Исследование влияния режимов магнетронного распыления на геометрические характеристики островковых плёнок. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 14 – 18 апреля, 2025, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2025.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=4275 (дата обращения: 02.04.2025)