Тонкие пленки оксидов для лазерных зеркал

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Третий (бакалавриат)

Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В работе обоснована актуальность применения тонкопленочных оксидных покрытий для лазерных диэлектрических зеркал. Проведен анализ и выбор материалов для многослойной структуры изделий лазерной техники. Рассмотрены методы нанесения многослойных оксидных тонкопленочных покрытий. Обоснован выбор магнетронного распыления для формирования тонкопленочных оксидных слоев. Отработаны режимы формирования тонкопленочных оксидных покрытий толщинами до 500 нм с высокой равномерностью.

Трекушевский Д. С., Купцов А. Д. Тонкие пленки оксидов для лазерных зеркал. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 14 – 18 апреля, 2025, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2025.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=4278 (дата обращения: 02.04.2025)