Островковые плёнки для газовых сенсоров

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Третий (бакалавриат)

Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

В работе обоснована актуальность создания газовых сенсоров на основе островковых тонких пленок, сформированных с использованием метода термического испарения. Особое внимание уделено островковым тонким пленкам олова, которые формируются на диэлектрической подложке. Приведено описание экспериментального стенда контроля начальных стадий роста островковых тонких пленок. Отработаны режимы формирования островковых тонких пленок олова. Показаны экспериментальные зависимости туннельного тока от времени формирования островковых тонких пленок олова.

Вануденов Д. Н., Наумова А. М., Кирьянов С. В. Островковые плёнки для газовых сенсоров. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 14 – 18 апреля, 2025, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2025.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=4288 (дата обращения: 02.04.2025)