Технологические методы производства элементов на основе микрополосковых линий

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Руденко Андрей Михайлович

Первый (магистратура)

Сидорова Светлана Владимировна (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н. Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

Работа посвящена исследованию и оптимизации процесса изготовления элементов на основе микрополосковых линий толщинами менее 1 мкм. Рассмотрены методы нанесения металлизированного слоя с применением ионных технологий, а также этапы сборки и монтажа. Спроектирована конструкция, реализующая систему регулировки "подложка-источник" при формировании металлизации в вакууме. Получены математические модели, описывающие зависимость толщины металлизированных слоев от технологических параметров.

Руденко А. М. Технологические методы производства элементов на основе микрополосковых линий. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 14 – 18 апреля, 2025, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2025.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=4342 (дата обращения: 02.04.2025)